[发明专利]真空隔离的批处理系统有效
| 申请号： | 201910867052.1 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110904425B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 阿瑟·凯格勒;凯文·巴贝拉;丹尼尔·古德曼 | 申请（专利权）人： | 先进尼克斯有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种气相淀积系统包括一个真空腔室以及被配置成处理半导体衬底的两个或更多个处理模块。每个处理模块可移除地连接至所述真空腔室的相应端口，使得当连接到所述相应端口时，每个处理模块与所述真空腔室真空连通。端口密封机构，该端口密封机构被配置成在每个端口处形成真空密封，使得当第一端口被密封且第一处理模块与该第一端口断开连接时，在所述第一处理模块通向大气压力的同时在所述真空腔室内保持真空状态。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 隔离 批处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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