[发明专利]光电薄膜器件的特性检测方法在审
| 申请号： | 201910926303.9 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110531120A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 肖金伟;黄晶;宋晓雪;殷尧;唐建新 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/30 | 分类号： | G01Q60/30 |
| 代理公司： | 11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 谢玲<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种光电薄膜器件的特性检测方法，在对待测光电薄膜器件进行制样处理，得到切片样品的基础上，配置导电探针，以及与导电探针连接的开尔文探针力显微镜。利用开尔文探针力显微镜通过导电探针采集切片样品的参数分布数据信息。利用该特性检测方法，可得到数值化的参数分布数据信息，实现更为细微化的检测，提高检测的全面性，为后续待测光电薄膜器件的失效判断提供数据依据。 | ||
| 搜索关键词： | 光电薄膜器件 导电探针 分布数据信息 开尔文探针 力显微镜 切片样品 特性检测 数据依据 全面性 数值化 细微化 检测 制样 采集 配置 申请 | ||
【主权项】：
1.一种光电薄膜器件的特性检测方法，其特征在于，所述方法包括：/n对待测光电薄膜器件进行制样处理，得到切片样品；/n配置导电探针，以及与所述导电探针连接的开尔文探针力显微镜；/n利用所述开尔文探针力显微镜通过所述导电探针采集所述切片样品的参数分布数据信息。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，未经江苏集萃有机光电技术研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910926303.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 光电薄膜器件的特性检测方法-201910926303.9
- 肖金伟;黄晶;宋晓雪;殷尧;唐建新 - 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
- 2019-09-27 - 2019-12-03 - G01Q60/30
- 本申请实施例提供一种光电薄膜器件的特性检测方法，在对待测光电薄膜器件进行制样处理，得到切片样品的基础上，配置导电探针，以及与导电探针连接的开尔文探针力显微镜。利用开尔文探针力显微镜通过导电探针采集切片样品的参数分布数据信息。利用该特性检测方法，可得到数值化的参数分布数据信息，实现更为细微化的检测，提高检测的全面性，为后续待测光电薄膜器件的失效判断提供数据依据。
- 利用扫描探针显微镜对特征成像的方法-201680020501.3
- A·N·埃里克松;S·B·伊波利托;S·朱姆沃尔特 - FEIEFA有限公司
- 2016-02-03 - 2019-11-26 - G01Q60/30
- 使用局部电位驱动探针将导体驱动到已知电位，而相邻线路通过样品本体接地，从而减少来自相邻线路的静电显微镜扫描信号，从而使得样品中金属线的成像更深。使用多个局部电位驱动探针在不同的导电线上局部提供不同的电位，允许在同一图像中突出显示不同的导体，例如通过改变施加于不同局部电位驱动探针的信号的相位。
- 专利分类
