[实用新型]一种光检波微纳真空三极管有效
| 申请号： | 201920957633.X | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN209785871U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 魏开鸿;黄城洲;苏剑锋 | 申请（专利权）人： | 深圳市灿升实业发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J21/10 | 分类号： | H01J21/10;H01J19/06;H01J19/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518115 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种光检波微纳真空三极管，包括：微型热阳极板、微型热阴极板、栅极材料层和导电薄膜，所述微型热阴极板和微型热阳极板之间刻蚀有导电薄膜，所述导电薄膜上部通过化学气相沉积有真空沟道，所述真空沟道的上部覆盖有氧化物混合材料，所述微型热阴极板和微型热阳极板均包含一对由Au/Cr组成的金属电极，所述金属电极之间电性连接有石墨烯材料板，所述石墨烯材料板的下部刻蚀有二氧化硅材料层，采用纳米缝隙真空沟道实现电子的传输，兼具了真空管和半导体晶体管的优点，栅极具有调制作用，优化了器件特性，具有工作电压低、响应时间短、发射电流可大幅度调制、可控性好等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 导电薄膜 真空沟道 阳极板 阴极板 石墨烯材料 金属电极 刻蚀 调制 真空管 半导体晶体管 二氧化硅材料 化学气相沉积 本实用新型 氧化物混合 栅极材料层 真空三极管 电性连接 发射电流 器件特性 电压低 可控性 检波 传输 响应 覆盖 优化 | ||
【主权项】：
1.一种光检波微纳真空三极管，包括微型热阳极板(1)、微型热阴极板(4)、栅极材料层(6)和导电薄膜(2)，所述微型热阴极板(4)和微型热阳极板(1)之间刻蚀有导电薄膜(2)，其特征在于，所述导电薄膜(2)上部通过化学气相沉积有真空沟道(3)，所述真空沟道(3)的上部覆盖有氧化物混合材料(7)，所述氧化物混合材料(7)中的元素与真空沟道(3)材料中的Si元素气相结合形成异质层(9)，所述微型热阴极板(4)和微型热阳极板(1)加工在栅极材料层(6)表面，所述微型热阴极板(4)和微型热阳极板(1)均包含一对由Au/Cr组成的金属电极(401)，所述金属电极(401)之间电性连接有石墨烯材料板(402)，所述石墨烯材料板(402)的下部刻蚀有二氧化硅材料层(404)，所述石墨烯材料板(402)的内壁上电性连接有钨电极丝(403)。/n
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