[实用新型]一种晶圆切割机防震底座有效
申请号: | 201922274021.3 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN211389604U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 王小波;王波;田光明 | 申请(专利权)人: | 无锡科瑞泰半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆切割机防震底座,所述晶圆切割机本体的下端连接有支撑座,所述支撑座的下端与底座本体的连接处设有软垫,所述支撑座的下端两侧分别连接有支撑板,所述支撑板的下端贯穿至底座本体的内部连接有底板,所述底板的上端一侧安装有第一弹簧,所述底板的上端一侧还等距连接有若干组第二弹簧,所述第一弹簧的上端均连接至底座本体的内壁上,所述底板的下端还等距连接有若干组第三弹簧;本实用新型将晶圆切割机本体工作过程的震动通过支撑座传递到底座本体上,通过在底座本体的内部将这个过程产生的震动吸收,进而使得晶圆切割机本体工作过程机体的稳定性较好,保证其工作质量,延长其使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割机 防震 底座 | ||
【主权项】:
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