[发明专利]使用电子束装置的光学设备制造方法有效
申请号: | 201980083890.8 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN113227859B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 卢多维克·戈代;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;卡提克·雷马斯瓦米;杨扬;曼尼瓦南·托塔德里;陈建安 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G02B6/13 | 分类号: | G02B6/13;G02B6/122;G02B6/12 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开内容的方面涉及用于制造波导的装置。在一个实例中,利用成角度的离子源来朝向基板投射离子以形成包括成角度的光栅的波导。在另一个实例中,利用成角度的电子束源来朝向基板投射电子以形成包括成角度的光栅的波导。本公开内容的另外的方面提供了用于利用成角度的离子束源和成角度的电子束源来在波导上形成成角度的光栅的方法。 | ||
搜索关键词: | 使用 电子束 装置 光学 设备 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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