[发明专利]一种温度传感器有效
| 申请号： | 202010980151.3 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112097936B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;吴承根 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01K5/72 | 分类号： | G01K5/72;G01K5/68 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种温度传感器，包括基板、两个热驱动V形梁结构、框架形机械超材料结构、应变敏感薄膜。两个热驱动V形梁结构分别位于框架形机械超材料结构的两侧。应变敏感薄膜位于框架形机械超材料结构的中心位置。当周围环境温度发生变化时，悬空热驱动V型梁受到温度的影响发生膨胀或收缩，驱动刚性绝缘连接线带动框架形机械超材料结构产生多方向的扩张或收缩，机械超材料结构的扩张或收缩通过刚性绝缘连接线传递到应变敏感薄膜，应变敏感薄膜将多方向应变转化为电阻值的变化，通过检测电阻变化实现对周围环境温度的测量，器件的检测灵敏度因此获得了较大的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度传感器 | ||
【主权项】：
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