[发明专利]载台组件在审
| 申请号： | 202011297879.2 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112626477A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 林俊成;郑耀璇 | 申请（专利权）人： | 鑫天虹(厦门)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市厦门火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种载台组件，包括基座与外墙。所述基座具有基材承载座以及围绕其的圆形凹槽，再者，外墙围绕于圆形凹槽的外围。所述圆型凹槽的外缘与基材承载座的边缘之间具有小于或等于5毫米的第一宽度，以及圆形凹槽的底部与外墙的顶部具有垂直的第一深度，其中所述第一深度与第一宽度的深宽比为1.5‑4。当基材透过所述载台组件受沉积作用时，载台组件可防止基材的非目标面受到沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
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