[实用新型]架台、端口接头套和架台系统有效
申请号: | 202021422591.9 | 申请日: | 2020-07-17 |
公开(公告)号: | CN212541012U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 张光建 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种架台、端口接头套和架台系统,所述架台具有可调面板,所述可调面板包括至少两组插孔机构,用于形成至少两种插孔序列,每组插孔机构包括第一定型板和第二定型板;第一定型板具有第一定型孔,第二定型板具有第二定型孔;第一定型板和第二定型板堆叠后,第一定型孔与第二定型孔叠合,以在可调面板上形成三个按序排列的插孔。所述端口接头套具有相对的头端和尾端,头端用于与第一种端口连接,尾端用于与第二种端口接头的一端连接,第二种端口接头的另一端与软管连接,所述架台系统包括所述架台和所述端口接头套,具有通用性,可适用至少两种光阻过滤器,且光阻过滤器更换的难度小,效率高,可在机台闲时更换,无需停机。 | ||
搜索关键词: | 端口 接头 系统 | ||
【主权项】:
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