[实用新型]架台、端口接头套和架台系统有效

专利信息
申请号: 202021422591.9 申请日: 2020-07-17
公开(公告)号: CN212541012U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 张光建 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 曹廷廷
地址: 201315*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供了一种架台、端口接头套和架台系统,所述架台具有可调面板,所述可调面板包括至少两组插孔机构,用于形成至少两种插孔序列,每组插孔机构包括第一定型板和第二定型板;第一定型板具有第一定型孔,第二定型板具有第二定型孔;第一定型板和第二定型板堆叠后,第一定型孔与第二定型孔叠合,以在可调面板上形成三个按序排列的插孔。所述端口接头套具有相对的头端和尾端,头端用于与第一种端口连接,尾端用于与第二种端口接头的一端连接,第二种端口接头的另一端与软管连接,所述架台系统包括所述架台和所述端口接头套,具有通用性,可适用至少两种光阻过滤器,且光阻过滤器更换的难度小,效率高,可在机台闲时更换,无需停机。
搜索关键词: 端口 接头 系统
【主权项】:
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