[发明专利]用于使用交错脉冲照明源泵浦激光维持等离子体的系统及方法有效
| 申请号： | 202080012279.9 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113366610B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | I·贝泽尔;M·德斯泰恩;W·舒马克;M·弗里德曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J61/02 | 分类号： | H01J61/02;H01J61/30;H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种用于泵浦激光维持等离子体的系统。所述系统包含经配置以产生用于所述激光维持等离子体的相应泵照明脉冲的多个泵模块，其中至少一个泵模块经配置以产生在时间上与由所述多个泵模块中的至少一个其它泵模块产生的另一串泵脉冲交错的一串泵脉冲。所述系统进一步包含经配置以将来自所述多个泵模块的所述相应泵照明脉冲引导到所述激光维持等离子体的集光体积中的多个非共线照明路径。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 交错 脉冲 照明 源泵浦 激光 维持 等离子体 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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