[发明专利]一种耐腐蚀钯类化学镀液及其应用

摘要

本发明涉及H01L21，更具体地，本发明涉及一种耐腐蚀钯类化学镀液及其应用。所述镀液的制备原料按质量浓度计，包括：钯盐3～6g/L、胺类络合剂20～40g/L、还原剂7～10g/L。本发明提供一种化学镀液，通过不同还原剂有利于减少钯的损失，且电镀得到的镀层光亮，无漏镀等问题，通过添加不饱和化合物，可避免多种还原剂带来的不稳定，提高使用寿命的同时，还有利于表面形貌的进一步提高，提高耐盐雾性能，化学镀钯液各个组分相互协同，共同发挥作用，沉积速率快，镀层厚度大，镀层均匀致密，而且镀液稳定性好，耐腐蚀。