[发明专利]一种阴极荧光系统探头的机械对中装置及其对中方法在审

专利信息
申请号: 202111186760.2 申请日: 2021-10-12
公开(公告)号: CN114113187A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 王贺;刘亚琪;何超 申请(专利权)人: 北京金竟科技有限责任公司
主分类号: G01N23/2254 分类号: G01N23/2254
代理公司: 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 代理人: 王岩
地址: 100094 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种阴极荧光系统探头的机械对中装置及其对中方法。本发明采用近似电子束光源的激光光源和一种可调整五维方向的对中装置,在非真空条件下完成阴极荧光系统探头内光纤的对中;并且能够同时得到量化结果,对阴极荧光探头的性能进行评估,并对后续探头性能改进提供实验平台;本发明在非真空条件下使用单一波长激光束,对其进行扩束、可调衰减和聚焦等操作,最终得到一个近似朗博发光场型的光源,此光源可近似为电子束与样品作用后的阴极荧光发光场型;独立出电子显微镜重新搭建平台,五维平台模拟阴极荧光探头与样品台的相对运动;本发明非真空条件下更容易手动调节和目测观察,不受真空条件下的狭小空间限制便于升级改进本身结构。
搜索关键词: 一种 阴极 荧光 系统 探头 机械 装置 及其 方法
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