[发明专利]一种深紫外光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和应用有效
申请号: | 202111322701.3 | 申请日: | 2021-11-09 |
公开(公告)号: | CN116102938B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 方书农;王溯;耿志月;崔中越 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司;上海芯刻微材料技术有限责任公司 |
主分类号: | C09D145/00 | 分类号: | C09D145/00;C09D135/00;C08F234/02;C08F232/08;C08F222/40;C08F220/40;G02B1/111 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 陈卓 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种深紫外光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和应用。本发明公开的底部抗反射涂层由下述组合物制得,所述的组合物包括聚合物、溶剂和光酸产生剂;其中,所述聚合物由下述方法制得,其包括下列步骤:(1)将溶剂I预热;(2)将如式(A)所示的单体、如式(B)所示的单体、如式(C)所示的单体、如式(L)所示的交联剂、引发剂和溶剂II混合,得一混合液;(3)将混合液加入到预热的溶剂中进行聚合反应;其中,步骤(1)和步骤(2)不分先后。本发明制备方法制备得到的底部抗反射涂层能够降低反射率,在底部抗反射涂层旋涂光致抗蚀剂后,未观察到由底部抗反射涂层形成的浮渣。#imgabs0# | ||
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- 本发明公开了一种新型内墙防霉涂料,由以下重量份数的原料制成:麦角甾醇4-8份、松香2.5-6.4份、萜烯树脂5-10份、菊酸乙酯2.5-6.4份、氟化钙1.5-4.6份、乙基香兰素1.4-2.8份、苯乙基苯丙基酚聚氧乙烯醚3.7-6.2份、丙烯酸树脂改性酪蛋白成膜剂2.5-5份和有机硅类流平剂1.5-3.6份。本发明与现有的产品相比,由于加入了麦角甾醇和乙基香兰素,两者和混合后使得乳胶漆成品抗菌效果好,耐霉变性能强,萜烯树脂、氟化钙和有机硅类流平剂等成分原料成本低廉,使得乳胶漆成品成本低,且由于原料中不含甲醛和VOC等成分,节能环保。
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- 杨军 - 青岛锦涟鑫商贸有限公司
- 2014-12-31 - 2016-07-27 - C09D145/00
- 本发明公开了一种耐用的内墙防霉涂料,由以下重量份数的原料制成:麦角甾醇4-8份、松香2.5-6.4份、萜烯树脂5-10份、菊酸乙酯2.5-6.4份、1,2-乙基-1,3-己二醇1.5-4.6份、乙基香兰素1.4-2.8份、苯乙基苯丙基酚聚氧乙烯醚3.7-6.2份、丙烯酸树脂改性酪蛋白成膜剂2.5-5份和有原钛酸四异丙酯1.5-3.6份。本发明与现有的产品相比,由于加入了麦角甾醇和乙基香兰素,两者和混合后使得乳胶漆成品抗菌效果好,耐霉变性能强,萜烯树脂、1,2-乙基-1,3-己二醇和有原钛酸四异丙酯等成分原料成本低廉,使得乳胶漆成品成本低,且由于原料中不含甲醛和VOC等成分,节能环保。
- 一种内墙防霉涂料-201410796626.8
- 杨军 - 青岛锦涟鑫商贸有限公司
- 2014-12-22 - 2016-07-20 - C09D145/00
- 本发明公开了一种内墙防霉涂料,由以下重量份数的原料制成:麦角甾醇4-8份、松香2.5-6.4份、萜烯树脂5-10份、菊酸乙酯2.5-6.4份、1,2-乙烷二硫醇1.5-4.6份、乙基香兰素1.4-2.8份、苯乙基苯丙基酚聚氧乙烯醚3.7-6.2份、丙烯酸树脂改性酪蛋白成膜剂2.5-5份和异氰酸氯磺酰酯1.5-3.6份。本发明与现有的产品相比,由于加入了麦角甾醇和乙基香兰素,两者和混合后使得乳胶漆成品抗菌效果好,耐霉变性能强,萜烯树脂、1,2-乙烷二硫醇和异氰酸氯磺酰酯等成分原料成本低廉,使得乳胶漆成品成本低,且由于原料中不含甲醛和VOC等成分,节能环保。
- 一种抗菌乳胶漆-201510987361.4
- 李盛明 - 青岛宏宇环保空调设备有限公司
- 2015-12-27 - 2016-05-04 - C09D145/00
- 本发明公开了一种抗菌乳胶漆,包含以下质量份数的原料:环氧乳液14-18份,三聚磷酸钠8-11份,丙二醇5-7份,钛白粉3-5份,水性硅油3-4份,萜烯树脂18-22份,硬脂酸铝4-7份,甲基三辛基氯化铵4-5份,羟丙基甲基纤维6-8份,硅凝胶5-7份,丙二醇甲醚醋酸酯7-11份,聚二甲基硅氧烷6-9份。本发明抗菌效果好,能够有效杀死细菌、真菌及霉菌,且防水性好,耐候效果显著。
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