[发明专利]微机械石英音叉陀螺有效
| 申请号： | 202111417204.1 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN113847909B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 褚伟航;裴志强;张琳琳;陶硕;郄立伟;赵黎明;王天宇;廖兴才 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 么立双 |
| 地址： | 100020*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机械石英音叉陀螺，包括外框结构，呈H型且嵌置在外框结构中的音叉结构，以及围绕驱动叉指周向设置的驱动电极。音叉结构包括驱动叉指，驱动叉指具有一对相对的第一相对面和一对相对的第二相对面。驱动电极包括一对第一驱动电极和一对第二驱动电极。其中，一对第一驱动电极分别与一对第一相对面相对应，一对第二驱动电极分别与一对第二相对面相对应。第一驱动电极和第二驱动电极中的至少一者设置在外框结构的与驱动叉指相对的面上。如此设置，通过在外框结构上制备电极，来减少驱动叉指上的电极设置，以减小驱动叉指的负载，降低负载带来的性能损耗，提高微陀螺的精度以及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 石英 音叉 陀螺 | ||
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- 本发明公开了一种MEMS陀螺仪，包括衬底、第一单元和第二单元，第一单元以及第二单元沿第一方向相对设置于衬底上，第一单元与第二单元通过耦合弹簧连接，衬底上还设有驱动电极以及检测电极,其中：第一单元包括沿第二方向相对设置的第一质量块和第二质量块，第一组耦合结构通过第一组弹性梁与第一质量块和第二质量块连接；第二单元包括沿第二方向相对设置的第三质量块和第四质量块，第二组耦合结构通过第二组弹性梁与第三质量块和第四质量块连接。与现有技术相比，本发明的有益效果为MEMS陀螺仪采用对称布局，便于实现差分检测以及提高灵敏度。
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- 刘国文;高乃坤;徐杰;张乐民;王健鹏;刘福民 - 北京航天控制仪器研究所
- 2020-06-23 - 2022-06-03 - G01C19/5621
- 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪，包括：包括盖帽层、陀螺仪敏感结构和衬底层；其中，盖帽层和衬底层相连接组成内部真空结构，陀螺仪敏感结构设置于内部真空结构；陀螺敏感结构包括第一驱动梳齿组、第二驱动梳齿组、第三驱动梳齿组、第四驱动梳齿组、第一驱动检测梳齿、第二驱动检测梳齿、第三驱动检测梳齿、第四驱动检测梳齿、第一驱动弹性梁组、第二驱动弹性梁组、第一检测弹性梁组、第二检测弹性梁组、锚区组、第一质量块、第二质量块、耦合弹性梁、第一驱动框架和第二驱动框架。本发明实现了俯仰和滚动角速率的测量，并减小了惯性测量单元的体积。
- 一种基于旋转模态的MEMS陀螺-202111672568.4
- 阚枭;占瞻;马昭;杨珊;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉;洪燕 - 瑞声开泰科技(武汉)有限公司
- 2021-12-31 - 2022-04-15 - G01C19/5621
- 本发明提供了一种基于旋转模态的MEMS陀螺，包括锚点、弹性连接于锚点外侧的至少两个驱动结构、连接于驱动结构的质量组，以及连接相邻驱动结构的耦合梁，其特征在于，质量组包括连接于驱动结构远离锚点侧的两检测组件，两检测组件分别设置于驱动结构相对的两侧，检测组件包括均连接于驱动结构且间隔设置的两质量块以及设置于质量块下方或上方的检测换能器，质量块的至少部分延伸至驱动结构的外侧。通过将质量块与检测换能器均采用对称布局，便于实现差分检测；面外摆动模态中，大部分质量块均参与角速度敏感，采用面外大面积检测换能器检测，有效提高了陀螺检测的机电耦合系数，提高了陀螺检测的灵敏度与信噪比。
- 一种振动非敏感硅微机电陀螺-201911313234.0
- 徐杰;刘福民;李兆涵;高乃坤;赵亭杰;王建鹏;刘国文;杨静;张乐民 - 北京航天控制仪器研究所
- 2019-12-19 - 2021-12-07 - G01C19/5621
- 一种振动非敏感硅微机电陀螺，包括四质量音叉微结构、控制电路、封装壳体和减振器组件；四质量音叉微结构是基于SOG工艺加工的双自由度运动的微结构，四个质量块在受力情况下沿平面内X和Y方向运动；控制电路由C/V变换电路、驱动轴自激回路、检测轴力平衡回路、MCU控制电路等组成；封装壳体将微结构和控制电路板封装在一起，并通过壳体四个安装孔形成外部机械接口；减振器组件是电路板与封装壳体之间的连接机构。本发明是一种高精度振动非敏感硅微机电陀螺，测量精度高、抗振动冲击，可广泛应用于制导炸弹、便携防空导弹、智能炮弹、无人机、导航设备等系统，用于测量载体绕固定轴相对惯性空间的的旋转角速率。
- 一种低温度敏感性谐振式加速度计结构-202110698167.X
- 高阳;孟琳;刘洋洋;张嘉超;焦良葆;曹雪虹 - 南京工程学院
- 2021-06-23 - 2021-09-17 - G01C19/5621
- 本发明公开了一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，包括硅结构层，硅结构层包括敏感质量块、一级杠杆放大机构、方向限定机构、两个双端固定音叉谐振器，两个双端固定音叉谐振器紧邻布置，每个双端固定音叉谐振器的一端均通过一个方向限定机构与一个一级杠杆放大机构，另一端通过一个方向限定机构与一个谐振器锚点连接，敏感质量块通过支撑折叠梁与固定框架，在每个两个固定框架之间设置有整体结构锚点。连接两个双端固定音叉谐振器的一级杠杆放大机构为两类不同形式且对称布置，形成加速度计的差分输出。本发明能够消除加速度信号的交叉敏感性，降低甚至消除工作温度变化引起的加速度计频率漂移，提升加速度计的温度性能。
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