[发明专利]垂直存储器器件及其操作方法在审
申请号: | 202180004980.0 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN116438935A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 赵冬雪;杨涛;杨远程;刘磊;王迪;张坤;周文犀;夏志良;霍宗亮 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00;G11C16/14;G11C16/34 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人: | 林锦辉;刘景峰 |
地址: | 430000 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本公开内容涉及用于对存储器器件执行操作的方法。存储器器件可以包括:底部选择栅极;底部选择栅极上方的板线;板线上方的字线;延伸穿过底部选择栅极、板线和字线的柱;柱下方的源极线;柱上方的漏极帽;以及形成在漏极帽上方的位线。方法可以包括将第一正电压偏置施加到底部选择栅极并且将第二正电压偏置施加到字线。方法还可以包括在字线达到第二正电压偏置之后将第三正电压偏置施加到位线。方法还可以包括将接地电压施加到字线及将接地电压施加到位线。 | ||
搜索关键词: | 垂直 存储器 器件 及其 操作方法 | ||
【主权项】:
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