[发明专利]热喷涂材料在审

专利信息
申请号: 202180009512.2 申请日: 2021-01-13
公开(公告)号: CN114945700A 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 木村裕司;高井康;中村成亨 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: C23C4/04 分类号: C23C4/04;H01L21/3065
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 杜丽利
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 使用包含含有氧化钇和氟化铵钇复盐的复合粒子的热喷涂材料,通过大气中热喷涂,形成包含氧氟化钇的热喷涂膜。如果使用本发明的热喷涂材料通过大气中热喷涂来形成热喷涂膜,则热喷涂中源于热喷涂材料的氟的损耗少,能够控制组成来形成包含氧氟化钇的热喷涂膜,从而能够容易地形成具有所希望的组成、特别是所希望的F/Y的热喷涂膜。
搜索关键词: 喷涂 材料
【主权项】:
暂无信息
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