[发明专利]用于估计涂覆有单层或多层的透明基材的质量功能的方法在审

专利信息
申请号: 202180037985.3 申请日: 2021-05-18
公开(公告)号: CN115605447A 公开(公告)日: 2023-01-13
发明(设计)人: Y·布朗斯坦;T·考夫曼;X·凯雷特;E-M·佩林;J·贝乌铁尔 申请(专利权)人: 法国圣戈班玻璃厂
主分类号: C03C17/36 分类号: C03C17/36;G01N21/88;G05B19/418;B32B17/00;C03C1/00;G01N21/84;G05B19/18;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/321;H01L21/46;H01L2
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 郑瑾彤;吕传奇
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及用于估计透明基材上的给定层状覆盖物的至少一个质量功能的计算机实施方法。更确切地说,描述了一种方法,该方法允许从过程中测量的质量功能预测透明基材上的给定层状覆盖物的至少一个非过程中测量的质量功能,所述过程中测量的质量功能可以是在任何位置、优选地在涂覆过程结束时在所沉积的已涂覆的基材上获取的。本发明相对于现有技术的反馈方法的突出优点在于,它可以允许摆脱对已涂覆的透明基材的质量功能的过程中实时持续测量和对涂覆过程参数的实时监控。
搜索关键词: 用于 估计 涂覆有 单层 多层 透明 基材 质量 功能 方法
【主权项】:
暂无信息
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