[发明专利]借助准非衍射激光射束激光加工部分透明的工件在审

专利信息
申请号: 202180093497.4 申请日: 2021-10-25
公开(公告)号: CN116917077A 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: D·弗拉姆;J·克莱纳 申请(专利权)人: 通快激光与系统工程有限公司
主分类号: B23K26/064 分类号: B23K26/064
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 郭毅
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 公开一种用于借助准非衍射的激光射束(5)对工件(9)进行材料加工的方法,其中,该工件(3)具有对于准非衍射的激光射束(5)部分透明的材料,该材料具有线性吸收。该方法包括步骤:将脉冲原始激光束(5')射入(步骤103)光学射束成形系统(13)中,以构造准非衍射的激光射束(5),该激光射束具有在所述纵向方向(z)上延伸的焦点区(7),以用于该工件(3)的材料加工,其中,借助该光学射束成形系统(13)向该原始激光束(5')的射束横截面进行相位施加,以构造经相位施加的激光射束(5_PH);将经相位施加的激光射束(5_PH)聚焦(步骤107)到该工件(3)的部分透明的材料中,从而构造准非衍射的激光射束(5),并且该焦点区(7)具有可沿着所述纵向方向(z)设定的强度分布,其中,这样设定所述相位施加,使得在将经相位施加的激光射束聚焦到该工件(3)的部分透明的材料中时,该准非衍射的激光射束(5)的强度分布(BG_2h(+))在该焦点区(7)中在纵向方向(z)上至少近似地恒定。
搜索关键词: 借助 衍射 激光 加工 部分 透明 工件
【主权项】:
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