[发明专利]具有金属-势垒-金属字线的三维存储器器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202180094243.4 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN116918479A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | R·N·B·赛义德;R·S·马卡拉;S·卡纳卡梅达拉;R·沙朗帕尼 | 申请（专利权）人： | 桑迪士克科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H10B51/10 | 分类号： | H10B51/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陈亚男;臧建明 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种三维存储器器件，该三维存储器器件包括绝缘层和导电层的交替堆叠、延伸穿过交替堆叠的存储器开口、以及位于存储器开口中并且包括相应竖直半导体沟道和相应存储器膜的存储器开口填充结构。该导电层中的每一者包括：与存储器开口填充结构中相应一者的相应外侧壁段接触的管状金属衬件、接触相应管状金属衬件及两个绝缘层的导电势垒层、以及接触导电势垒层并且不接触管状金属衬件或任何绝缘层的金属填充材料层。在通过存储器开口执行卤素释气退火之后形成存储器开口填充结构，以减少或消除存储器膜的层中的卤素释气损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 金属 势垒 三维 存储器 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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