[发明专利]用于光学检查的处理装置和检查设备以及对应的方法在审

专利信息
申请号: 202180095109.6 申请日: 2021-03-01
公开(公告)号: CN116964686A 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 焦琳淇;杨春鑫;张飞;周元平;李民权;赵伟;冯圣威 申请(专利权)人: 徕卡显微系统科技(苏州)有限公司
主分类号: G21K7/00 分类号: G21K7/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 宋融冰
地址: 215024 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种检查系统和对应的方法。检查系统包括一种在用于样本(160)光学检查的检查设备(100)中使用的处理装置(130),该处理装置(130)配置成:联接到光学检查手段(110)的摄像机(116),联接到包括显示手段(122)的用户接口手段(120),从用户接口手段(120)和/或摄像机(116)接收输入数据,向用户接口手段(120)提供输出数据,并且联接到存储手段(180)并且访问存储手段(180)以存储和提取数据;其中,处理装置(130)配置成通过访问存储在存储手段(180)处的指令数据(190),经由用户接口手段(120)提供用于将由用户(150)执行的样本(160)光学质量检查的指令(192),使得指令(192)作为输出数据提供到用户接口手段(120),其中指令(192)包括针对用户(150)的关于要对哪个样本(160)执行哪种光学质量检查的预定义指令,其中处理装置(130)配置成经由用户接口手段(120)从光学质量检查接收质量报告数据(196)和/或接收由摄像机(116)获取的图像的图像数据作为输入数据,并且将质量报告数据(196)和/或图像数据存储在存储手段(180)中。
搜索关键词: 用于 光学 检查 处理 装置 设备 以及 对应 方法
【主权项】:
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