[发明专利]基于基板图像处理的膜非均匀性的像素和区域分类在审
申请号: | 202210218508.3 | 申请日: | 2022-03-04 |
公开(公告)号: | CN115100097A | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | D·J·本韦格努;N·莫达麦迪 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06V10/56;G06V10/764;G06K9/62 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖;张鑫 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 对基板上的膜非均匀性进行分类的方法包括:获取基板的彩色图像,其中该彩色图像包括多个色彩通道;针对基板的彩色图像获取标准色;针对沿着彩色图像中的路径的每个相应像素,确定该相应像素的颜色与标准色之间的差分向量,以生成差分向量序列;并基于差分向量序列,包括将序列中的多个差分向量与阈值进行比较,来将沿着该路径的像素拣选到多个区域中,包括至少一个正常区域和至少一个异常区域。 | ||
搜索关键词: | 基于 图像 处理 均匀 像素 区域 分类 | ||
【主权项】:
暂无信息
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