[发明专利]一种清洗装置在审
| 申请号： | 202210327538.8 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN116921306A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈政;黄振伟;谢城;徐亮 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B11/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人： | 时林;肖鹂 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种清洗装置，包括：固定盘，固定盘用于将清洗对象固定于第一平面；冲洗组件，冲洗组件位于固定盘下方，冲洗组件包括配置在第二平面上的水刀喷嘴，水刀喷嘴用于喷射高压水柱；其中，清洗对象沿第一平面的方向做往复运动和/或冲洗组件沿第二平面的方向做往复运动；并且清洗对象和/或冲洗组件绕垂直于第一平面的轴做旋转运动。本申请实施例通过利用水刀喷嘴喷出的高压水柱以及水刀喷嘴与清洗对象的相对运动实现了对清洗对象表面进行均匀清洗和表面粗糙度重构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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