[发明专利]氮化物半导体外延结构在审
申请号: | 202210419930.5 | 申请日: | 2022-04-21 |
公开(公告)号: | CN114823853A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 胡智威;蔡清富;蔡长祐;陈威佑 | 申请(专利权)人: | 南京百识电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/15;H01L29/20;H01L29/201 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 赵淑芳 |
地址: | 211806 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种氮化物半导体外延结构,包括衬底,所述衬底上依次设有成核层、过渡层、复合缓冲层、顶氮化镓层、被覆层,过渡层为Al |
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搜索关键词: | 氮化物 半导体 外延 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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