[发明专利]一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件及其制作方法在审
| 申请号： | 202210873557.0 | 申请日： | 2022-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN115128738A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 冯新凯;梁万国 | 申请（专利权）人： | 闽都创新实验室 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所(普通合伙) 35001 | 代理人： | 何小星 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体材料制备技术领域，具体公开一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，通过在铌酸锂晶体的一面设置能够进行标记的划痕，通过控制划痕深度来控制抛光程度，达到精密抛薄的效果，从而简化了铌酸锂薄膜的制备过程，具有很强的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 梯形 衬底 ppln 脊形波导 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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