[发明专利]具有增强温度均匀特性的基材加热设备在审
申请号: | 202211051979.6 | 申请日: | 2022-08-30 |
公开(公告)号: | CN115734405A | 公开(公告)日: | 2023-03-03 |
发明(设计)人: | 金泽坤;陈正哲 | 申请(专利权)人: | 美科陶瓷科技有限公司 |
主分类号: | H05B3/12 | 分类号: | H05B3/12;H05B3/14;H05B3/03;H01L21/67;H01J37/32 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 朴振宇;赵永莉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明关于一种具有增强温度均匀特性的基材加热设备。该基材加热设备包括:一本体,其包括该基材座落于其上的一基材座落部分,以支撑该基材;一第一加热组件,其位于该本体的一内部区域中;一第二加热组件,其位于围绕该内部区域的一外部区域中;一第三加热组件,其经组态以横跨该本体的该内部区域传送电流至该第二加热组件;及一连接器,其电互连该第二加热组件及该第三加热组件,其中该连接器由含有钼及钨的一钼钨合金制成。 | ||
搜索关键词: | 具有 增强 温度 均匀 特性 基材 加热 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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