[发明专利]一种半球谐振子面形误差和厚度误差的测量装置及方法在审
| 申请号： | 202211070544.6 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115560697A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 翟德德;郭景阳;陈善勇;刘俊峰 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 张丽娟 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半球谐振子面形误差和厚度误差的测量装置，包括底座、半球谐振子、底座包括互相垂直的水平底座和竖直底座，水平底座和竖直底座上分别安装有第一气浮转台和第二气浮转台，第一气浮转台设有五轴调整平台，半球谐振子安装在五轴调整平台上，第二气浮转台上设有用于扫描半球谐振子轮廓和/或全半球面厚度的非接触式传感器；第一气浮转台的回转中心轴线和第二气浮转台的回转中心轴线垂直且相交于P点，P点位于非接触式传感器的测量光轴上且与半球谐振子的球心重合。本发明具有结构简单，测量精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半球 谐振子 误差 厚度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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