[发明专利]双面垫调节器在审
申请号: | 202211201077.6 | 申请日: | 2022-09-29 |
公开(公告)号: | CN115870883A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | D·耶内尔;J·里韦尔斯;E·巴卢;F·A·科代 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | B24B53/00 | 分类号: | B24B53/00;B24B21/18;B24B37/04 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 李婷 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请案涉及一种双面垫调节器。一种CMP垫调节器组合件包含背板,其包含包括多个第一安装位置的第一面及包括多个第二安装位置的第二面。多个段固定到所述第一面。所述段包含具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面的衬底。多个突起与所述衬底一体化以远离所述第一表面突出。所述突起涂覆有保形金刚石层。多个第二段固定到所述第二面,所述第二段包含具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面的衬底。所述第二段中的每一者包含与所述衬底一体化以远离所述第一表面突出的多个突起。所述突起涂覆有保形金刚石层。 | ||
搜索关键词: | 双面 调节器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于恩特格里斯公司,未经恩特格里斯公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202211201077.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。