[发明专利]一种机械式的气体压力报警开关及半导体工艺设备在审
申请号: | 202211424786.0 | 申请日: | 2022-11-14 |
公开(公告)号: | CN115763151A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 鞠子辰;姜崴;张晓玉 | 申请(专利权)人: | 拓荆科技股份有限公司 |
主分类号: | H01H35/24 | 分类号: | H01H35/24;H01H35/26 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐伟 |
地址: | 110171 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种机械式的气体压力报警开关及半导体工艺设备,包括:压力开关本体,用于检测当气体压力到达预设阈值时触发报警;与该压力开关本体配合连接的进气管路,气体通过该进气管路传输至该压力开关本体;以及截流孔板,设于该压力开关本体与该进气管路的连接处的管路内以减小由该进气管路传输并累积至该压力开关本体的气体压力。 | ||
搜索关键词: | 一种 机械式 气体 压力 报警 开关 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于拓荆科技股份有限公司,未经拓荆科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202211424786.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。