[发明专利]一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法在审
申请号: | 202211454241.4 | 申请日: | 2022-11-21 |
公开(公告)号: | CN115683906A | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 王宁昌;朱建辉;徐钰淳;师超钰;邵俊永 | 申请(专利权)人: | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
主分类号: | G01N3/42 | 分类号: | G01N3/42 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 程世芳 |
地址: | 450001 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法,通过连续压痕试验测试衬底材料的损伤层深度,提出微压痕测试的方法来评估CVD金刚石加工表面的总损伤,微压痕试验引起的损伤足够小,可以在加工过程中消除;具有快速、低成本、操作性强等特点,可以用于金刚石材料不同加工流程中损伤层的快速检测与评价,为优化材料加工参数以及下一道工序的加工时间有一定的指导意义。 | ||
搜索关键词: | 一种 快速 检测 cvd 金刚石 损伤 深度 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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