[发明专利]具有改进的应力不敏感性的Z轴微机电传感器在审
| 申请号： | 202211486433.3 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN116165397A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | G·加特瑞;F·里奇尼;C·达尔奥格利奥 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 丁君军 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的各实施例总体上涉及具有改进的应力不敏感性的Z轴微机电传感器。一种微机电传感器设备具有检测结构，该检测结构包括：具有顶面的基底；悬置在基底的顶面上方并且弹性耦合到转子锚以便根据待检测量相对于基底执行惯性运动的惯性质量体；以及在相应定子锚处整体耦合到基底并且电容耦合到惯性质量体，以便响应于待检测量而生成指示待检测量的差分电容变化的定子电极。特别地，作为惯性运动，惯性质量体执行沿着正交于基底的顶面的竖直轴线的平移运动；并且定子电极以悬置方式布置在基底的顶面上方。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 应力 不敏 感性 微机 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司，未经意法半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211486433.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
