[发明专利]一种在特定角度下减少光谱偏移的滤光片制备工艺及其分析方法

摘要

本发明公开了一种在特定角度下减少光谱偏移的滤光片制备工艺，包括如下步骤：（1）将((2n+1)HL)^S作为滤光片基础膜堆，其中n=1，2，3……，H表示高折射率材料的基本厚度，L表示低折射率材料的基本厚度，S表示基本膜堆的周期数；（2）以((2n+1)HL)^S作为基础膜堆在滤光片基板上进行光学镀膜。通过提高高折射率材料的物理厚度，使高低材料厚度之比达到一定的比值，在不改变选取镀膜高低折射率材料的情况下，使得在过渡区里，对称膜堆的等效折射率大幅提高，实现大入射角度下，波长偏移较小的结果，对指导二向色镜光学滤光片的设计有重要的参考价值和指导意义。