[实用新型]一种晶圆测试探针的检测设备有效

专利信息
申请号: 202221051091.8 申请日: 2022-05-05
公开(公告)号: CN217332569U 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 罗强;胡少辉;罗丽芳;杨慧芳 申请(专利权)人: 湖北熙之翼电子科技有限公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073;G01R1/04;G01R31/28;G01R31/26
代理公司: 四川恒靠谱知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51335 代理人: 唐洪伟
地址: 437000 湖北省咸宁市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型提供一种晶圆测试探针的检测设备。所述晶圆测试探针的检测设备包括操作台,所述操作台上固定安装有第一安装架和遮挡箱,所述遮挡箱的一侧固定安装有放置板,所述放置板上设置有检测设备主机;第一电动推杆,所述第一电动推杆固定安装在所述第一安装架上,所述第一电动推杆的输出杆上固定安装有探针板,所述探针板与所述检测设备主机相适配。本实用新型提供的晶圆测试探针的检测设备具有检测较为省力便捷,有利于提高检测效率的优点。
搜索关键词: 一种 测试 探针 检测 设备
【主权项】:
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