[实用新型]一种倒装深紫外发光二极管芯片有效
申请号: | 202221763494.5 | 申请日: | 2022-07-07 |
公开(公告)号: | CN219267676U | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 张向鹏;李勇强;郭凯;张晓娜;王雪;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/40 | 分类号: | H01L33/40;H01L33/10 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 李莹 |
地址: | 047500 山西*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种倒装深紫外发光二极管芯片,所述发光二极管芯片包括深紫外LED外延片及n电极(202)和p电极(203),深紫外LED外延片包括n‑AlGaN层(103)和p‑AlGaN层(106)且n电极(202)设置在n‑AlGaN层(103)上,p电极(203)设置在p‑AlGaN层(106)上,倒装深紫外发光二极管芯片的蚀刻台面侧壁的倾角为10°‑40°,n电极(202)和p电极(203)上都设有一个加厚电极(204)且p电极(203)上方的加厚电极覆盖倒装深紫外发光二极管芯片中的整个p‑AlGaN层(106)的上方和刻蚀台面侧壁的上方。其能在不增加光刻次数和不增加芯片成本的前提下,提高芯片亮度5‑20%,提高芯片性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 倒装 深紫 发光二极管 芯片 | ||
【主权项】:
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