[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 202222622695.X | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN219099382U | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 董升;卓珍珍;朱永刚;白锋;张伟建 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06;G01K7/02;G01K1/12 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 葛珊杉 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉。所述单晶炉包括坩埚、换热器和测温模组;所述坩埚的顶部和所述换热器的底部间隔设置,所述硅液存储在所述坩埚中;所述测温模组包括测温探头,所述测温探头的一端和所述换热器的底部连接,在所述换热器向靠近所述坩埚移动的情况下,所述测温探头的另一端和所述硅液的液面的接触。这样,在实现对硅液的液面的温度准确测量、降低测量误差的同时,可以保证硅液的液面和换热器的底部存在一定的间隙,避免换热器浸入硅液中,进而保证拉晶过程的正常运转。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】:
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