[实用新型]一种Ⅲ代像增强器砷化镓光电阴极化学腐蚀夹具有效

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申请号: 202223375848.1 申请日: 2022-12-16
公开(公告)号: CN219917062U 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 吴波;周强;李宇彬 申请(专利权)人: 深圳市荣者光电科技发展有限公司
主分类号: H01J9/12 分类号: H01J9/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道1*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开了一种Ⅲ代像增强器砷化镓光电阴极化学腐蚀夹具,涉及光电技术领域,具体包括底座,所述底座的内部开设圆槽,所述底座通过圆槽的内底壁开设有两组等距离排列的导流通道。本实用新型通过设置有底座、导流通道、固定环,在进行光电阴极的化学腐蚀时,通过固定环与底座的配合把光电阴极卡接在内部,当整体侵入到容器的腐蚀溶液中进行化学腐蚀时,溶液流动到阴极表面边缘时,在固定环内孔的倒角作用下,快速从光电阴极表面排走,防止阴极表面存在积液,溶液流动到底座时,在圆柱形导流通道作用下,快速从底座背面导流通道排出,防止阴极表面边缘存在积液,从而达到装置可以根据需要使得腐蚀溶液在光电阴极表面光顺通过不滞留的目的。
搜索关键词: 一种 增强 器砷化镓 光电 阴极 化学 腐蚀 夹具
【主权项】:
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  • 本发明公开了一种提高InGaAs光电阴极量子效率的激活方法,包括铯、氧激活和铯、NF3激活的两次激活,具体为:对InGaAs光电阴极进行第一次高温净化;开启铯源,当光电流下降到峰值电流的50%~85%时,开启氧源,并保持铯源开启,当光电流再次到达峰值时关闭氧源;对InGaAs光电阴极进行第二次高温净化;开启铯源,当光电流下降到峰值电流的50%~85%时,开启NF3进气阀门,使NF3气体进入激活腔体,并保持铯源开启,当光电流曲线上升速率小于0.2μA/min,关闭NF3进气阀门,关闭铯源。本发明可以得到量子效率更高的InGaAs光电阴极。
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  • 毛汉祺;祝佳祺;张姝丽;郭欣达;万春山;张正君;李臻;乔芳健;李婧雯;刘文伟 - 北方夜视技术股份有限公司
  • 2021-06-28 - 2022-04-22 - H01J9/12
  • 本发明公开了一种提高微通道板增益及微孔内壁化学稳定性的方法,将经过腐蚀工艺后得到的具有多孔结构的微通道板进行脱碱工艺处理;所述脱碱工艺的具体步骤如下:将经过腐蚀处理并清洗烘干后的微通道板置于石英篮中,并放入石英玻璃容器中置于洁净的马弗炉中,并将马弗炉升温;向马弗炉中通入氮气,再通入脱碱气体一段时间,停止通入脱碱气体后继续通氮气,之后随炉冷却至室温;将上述处理后的微通道板置于弱酸溶液中,再置于弱碱溶液中腐蚀,最后去离子水中超声振动清洗。本发明的方法在满足微通道板基本结构的基础上,保证了微通道板中碱金属的含量,提高了微通道板二次电子发射系数及内壁化学稳定性。
  • 大尺寸小开口面积比的探测级微通道板及其制备方法-201911291523.5
  • 乔芳建;张正君;丛晓庆;邱祥彪;李婧雯;司曙光;任玲;王兴超;张振;杨锋 - 北方夜视技术股份有限公司
  • 2019-12-16 - 2022-04-22 - H01J9/12
  • 本发明提供一种大尺寸小开口面积比的探测级微通道板及其制备方法,微通道板的外观直径尺寸(D1)范围为50mm至200mm,有效探测直径为45mm至190mm;微通道板的孔间距(D3)与通道孔径(D2)的比值范围为1.5‑5,在该条件下的微通道板的开口面积比范围为3.6%至40%;其中,微通道板的输入面非通道位置具有二次电子发射能力,使微通道板在进行信号探测时碰撞在非通道位置时会产生二次电子,二次电子在电场的作用下再次进入微通道板通道,形成有效信号。本发明提出的微通道板在应用于探测领域时,在满足大的探测面积的同时,可以提高其机械强度;并且在同样的探测面积下,拥有更小的总表面积,气体吸附总量更少,微通道板噪声更小。
  • 用于微通道板氢还原的方法与装置-202010720527.7
  • 张正君;王鹏飞;李婧雯;丛晓庆;李臻;邱祥彪;乔芳建;毛汉祺;张欢;蒯浚哲 - 北方夜视技术股份有限公司
  • 2020-07-24 - 2022-04-22 - H01J9/12
  • 本发明提供一种用于微通道板氢还原的方法与装置,包括:圆筒形石英反应腔体;设置在反应室内的内部两端的第一电极和第二电极;氢气供应装置;氮气供应装置;直流电源与等离子脉冲发生器,通过导线分别向第一电极与第二电极供电起辉,形成直流电场作用于氢气从而生成等离子态的氢,使得等离子体氢对微通道板中的PbO进行还原反应;加热装置,位于圆筒形石英反应腔体的外部,所述加热装置与控制器连接,所述控制器用于控制所述加热装置的加热以使所述反应室升温至设定的温度。本发明充分利用等离子氢在真空环境下的活性,强化对微通道板中金属氧化物PbO的还原反应,可实现在较低温度下的有效还原,减少了工艺时间,加快实际生产中的产品周转。
  • 微通道板控压氢还原的装置和方法-202010720098.3
  • 乔芳建;丛晓庆;李婧雯;李臻;张正君;牛鹏杰;邱祥彪;李冬;李涛;王鹏飞 - 北方夜视技术股份有限公司
  • 2020-07-24 - 2022-03-25 - H01J9/12
  • 本发明提出了一种微通道板控压氢还原的装置和方法。该装置包括氢还原反应腔体、加热系统、气体供应系统、控压系统、安全防护系统。该方法主要在氢还原反应腔体内进行微通道板的氢还原过程,并通过加热系统控制氢还原反应腔体,使用气体供应系统向氢还原反应腔体通入氮气或氢气,通过控压系统控制氢还原反应腔体内的压力,由安全防护系统保障整个氢还原过程的安全并对产生的尾气进行处理。该装置和方法可以在微通道板氢还原的过程中保证整个氢还原过程处于可控恒压状态,压力范围为1Pa~1×106Pa,最终实现微通道板处于氢还原反应腔体的等温区内时,其氢还原后的体电阻离散系数较小。
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