[发明专利]使用基于机器学习的热图像处理监控化学机械抛光工艺在审
| 申请号： | 202280005621.1 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN115884848A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | T·H·奥斯特海德;B·切里安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B49/14 | 分类号： | B24B49/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种化学机械抛光设备，包括：工作台，所述工作台具有顶表面以固持抛光垫；承载头，所述承载头用于在抛光工艺期间将基板固持抵靠在抛光垫的抛光表面上；温度监控系统，所述温度监控系统包括定位在工作台上方以具有工作台上的抛光垫的一部分的视野的非接触式热成像相机；以及控制器。控制器被配置成从温度监控系统接收热图像，将热图像输入至由训练示例训练的机器学习模型中以确定针对以下各项中的一者或多者的指示：1)工艺偏差的存在，2)基板状态，或3)针对工艺偏差的诊断，以及从机器学习模型接收指示。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 基于 机器 学习 图像 处理 监控 化学 机械抛光 工艺 | ||
【主权项】：
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- 本发明涉及一种高速外圆磨削弧区多点温度同时测试的传感器及其装置。传感器由内侧开有若干条卡槽的左半圆柱和右半圆柱焊接而成，每条卡槽内安装有一个热电偶。将若干个该传感器拧入测试工件中，沿测试工件磨削宽度方向排列，并与测试工件形成连续的磨削弧区表面。传感器的输出端依次与集流环、数据处理采集设备、信号处理软件和数显装置相连组成测试装置。在高速外圆磨削过程中传感器对磨削弧区相关点温度进行采集，并将数据输出到信号处理软件进行后续处理，同时测试磨削弧长上多个点的瞬间温度及其变化，从而解决高速与超高速磨削弧区温度测试难题。
- 磨床砂轮主轴热误差测量方法-200910052299.4
- 李郝林;迟玉伦;姚俊 - 上海理工大学;上海机床厂有限公司
- 2009-06-01 - 2010-01-20 - B24B49/14
- 本发明涉及一种磨床砂轮主轴热误差测量方法，具体步骤如下：1.设置非接触式位移传感器，2.确定上述任一个传感器与砂轮主轴的相对位置，3.测量主轴的热变形量，4.修正砂轮主轴热变形与随机测量误差。通过本发明能解决磨床砂轮主轴热变形的测量问题，并给出了传感器与砂轮主轴相对位置的判别方法，从而可以准确判定X、Y方向的热变形量。该方法同样适用于没有主轴定位功能的加工中心主轴热变形的测量。
- 冰冻固结磨料抛光温度的控制方法及装置-200810124734.5
- 孙玉利;左敦稳;朱永伟;郭魂;周亮;李茂;康静 - 南京航空航天大学
- 2008-09-01 - 2009-01-28 - B24B49/14
- 本发明公开了一种冰冻固结磨料抛光温度的控制方法及装置，它利用冻结在冰冻固结磨料抛光垫内部的带有无线电发射模块的温度记录仪对冰冻抛光垫内部的温度进行测量，获取冰冻抛光垫内部的温度，带有温度信号的无线电波被安装在冷风发生器上的无线电接收模块接收，再传送到输出信号处理模块，将温度信号传送到微电脑，进而控制冷风发生器的送风操作。在冷风发生器的上壁处开有出风口，该出风口与抛光机内腔相通，由此就可控制冰冻固结磨料抛光温度。通过智能控制冰冻固结磨料抛光温度，可使冰冻抛光垫的融化速度得到有效的控制，避免磨料的浪费，保证冰冻抛光垫中的固结磨料在抛光加工时间内的有效性，从而降低冰冻抛光垫的制作成本，达到节约能源的目的。
- 专利分类
- 彩色图像和单色图像的图像处理
- 图像编码/图像解码方法以及图像编码/图像解码装置
- 图像处理装置、图像形成装置、图像读取装置、图像处理方法
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序以及图像解码程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序、以及图像解码程序
- 图像形成设备、图像形成系统和图像形成方法
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
