[发明专利]光学特性测定装置、波长偏移校正装置、波长偏移校正方法以及程序在审
申请号: | 202280010130.6 | 申请日: | 2022-01-11 |
公开(公告)号: | CN116829913A | 公开(公告)日: | 2023-09-29 |
发明(设计)人: | 川崎贵志 | 申请(专利权)人: | 柯尼卡美能达株式会社 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 基于来自在基于分光单元(4)的入射光的色散方向上排列的光电转换元件(5)的多个像素的信号,测定入射光的波长。在波长偏移的校正时,计算测定来自波长偏移校正用光源(10)的入射光的亮线波长时的测定值与本来的亮线波长之差即波长偏移测定量,该波长偏移校正用光源放射包含能够由分光单元(4)色散的波长区域中的至少一个波长的亮线的光。通过利用将波长或者与波长相关的参数作为变量且1次式以上的多项式表示产生的波长偏移的特性的多项式,计算亮线波长偏移基准量。根据计算出的亮线波长偏移测定量和亮线波长偏移基准量,决定多项式的各系数,基于所决定的多项式,对入射光的波长进行校正。 | ||
搜索关键词: | 光学 特性 测定 装置 波长 偏移 校正 方法 以及 程序 | ||
【主权项】:
暂无信息
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