[发明专利]一种NA=0.7的紫外长工作距离平场显微物镜在审

专利信息
申请号: 202310236832.2 申请日: 2023-03-13
公开(公告)号: CN116449550A 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 李刚;杨鹏飞;张鹏飞;张天才 申请(专利权)人: 山西大学
主分类号: G02B21/02 分类号: G02B21/02;G02B13/00;G02B13/14
代理公司: 太原申立德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14115 代理人: 杜怀宇
地址: 030006*** 国省代码: 山西;14
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种NA=0.7的紫外长工作距离平场显微物镜,从像方到物方依次由第一透镜、透镜组元和光学观察窗组成,所述透镜组元由第二、第三、第四、第五、第六透镜组成。所述第一透镜具有负的光焦度,主要用于场曲的校正;所述第二、第三、第四、第五、第六透镜具有正的光焦度,主要用于校正球差和慧差,同时增加光焦度。本发明显微物镜的工作距离可达15mm(包括光学观察窗片)。本发明能够在200‑400nm紫外波段提供大工作距离和高分辨率的显微物镜,同时能对不同厚度的真空玻璃窗片引起像差进行优化调节和补偿,整个物镜采用二氧化硅光学玻璃加工的单片透镜组成,系统结构简单,可广泛用于极端环境下微米尺度的样品的紫外观测。
搜索关键词: 一种 na 0.7 紫外 工作 距离 显微 物镜
【主权项】:
暂无信息
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