[发明专利]气体传感器在审
申请号: | 202310255081.9 | 申请日: | 2023-03-16 |
公开(公告)号: | CN116773476A | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 福中敏昭;古屋贵明 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/01;G01N21/61 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;孙德崇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供能够抑制半导体基板的变形所引起的特性变动的气体传感器。气体传感器(1)包括:基板(重布线层30);发光元件(11),其设于基板的一侧的面即表面(30a)或埋入基板而设置;光接收元件(12),其设于基板的表面或埋入基板而设置,接收从发光元件射出的光;以及多个外部连接端子(40),其位于基板的与表面相反的面即背面(30b),该多个外部连接端子的至少一部分外部连接端子与发光元件及光接收元件电连接,多个外部连接端子配置为,在俯视时连结任意两个外部连接端子的线上不存在发光元件和光接收元件。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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