[发明专利]一种局域等离子体可调的SERS贴片及其制备方法

摘要

本发明属于微纳加工技术领域，具体公开了一种局域等离子体可调的SERS贴片及其制备方法。所述制备方法是以柔性PDMS涂层作为衬底，采用柔性PDMS垫片和柔性PDMS涂层配合飞秒激光进行倒置加工，在处于拉伸状态的形变衬底上还原前驱体金属溶液，生长出均匀的金属纳米片结构，然后释放衬底，制得SERS贴片；所述SERS贴片上生长的金属纳米片的厚度为90‑110nm，金属纳米片之间的间隙为60nm‑140nm。本发明利用PDMS材料的弹性形变来控制金属纳米片之间的间隙，进而增强热点，提高贴片的检测灵敏度；所述制备方法操作简单、加工成本低；制成的SERS贴片体积小巧，附着性能好，可配合检测探头使用，提高探头使用寿命。