[发明专利]激光加工系统的整形光斑校正方法、激光加工系统

摘要

本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种激光加工系统的整形光斑校正方法、激光加工系统、激光加工方法、校正模型。整形光斑校正方法包括：获取理想高斯光束模型G0；通过光束整形器的光学模型获取传递函数T；计算入射场镜前的光束函数G0*T；通过场镜的光学模型获取传递函数F(x,y)；通过G0*T*F(x,y)*δ(x,y)＝H0，求解校正函数δ(x,y)，其中，H0为理想的整形光斑分布函数，*表示卷积；获取校正函数δ(x,y)对应的灰度图，将灰度图输入相位可编程器，以对扫描至场镜幅面中位置(x,y)处的整形光斑进行校正。本发明的相位可编程器可以在振镜扫描至场镜幅面中的某一位置，对该位置处的光斑进行校正，以获取理想均匀的整形光斑，可以实现场镜整个幅面都能达到理想整形光斑。