[发明专利]一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法在审
申请号: | 202310643575.4 | 申请日: | 2023-06-01 |
公开(公告)号: | CN116813314A | 公开(公告)日: | 2023-09-29 |
发明(设计)人: | 罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇 | 申请(专利权)人: | 先导薄膜材料(广东)有限公司 |
主分类号: | C04B35/10 | 分类号: | C04B35/10;C04B35/622;C23C14/35 |
代理公司: | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人: | 龚元元 |
地址: | 511500 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明属于靶材制备技术领域,公开了一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法。所述氧化铝掺杂氧化钛镨靶材由以下质量百分含量的组分组成:氧化铝99.3%~99.8%,氧化钛0.5%~0.1%,氧化镨0.2%~0.1%。所述制备方法为:将氧化钛、氧化镨粉末和第一分散剂经湿法研磨得到浆料一;然后加入氧化铝粉末、水和第二分散剂分散湿法研磨得到浆料二;再加入粘结剂经湿法研磨得到浆料三;然后依次经喷雾造粒、与热塑性粘结剂混合后注射成型、加热脱脂处理和烧结处理,得到氧化铝掺杂氧化钛镨靶材。本发明所得靶材具有高致密度、高均匀性的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化铝 掺杂 氧化 钛镨靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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