[发明专利]一种阵列微环谐振腔基同质集成多波长可调谐半导体激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310767155.7 | 申请日： | 2023-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN116937327A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王警辉;孙静雯;赵青;洪乾;郑之远;常夏森 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/042;H01S5/34 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张彬 |
| 地址： | 458030 河南省鹤壁市*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出了一种阵列微环谐振腔基同质集成多波长可调谐半导体激光器及其制备方法，属于集成光学的技术领域，用以解决多波长可调谐半导体激光器工艺难度高、输出功率低的技术问题。包括衬底，衬底的两侧分别设有n面电极和外延层，所述外延层上包括增益放大区和非增益放大区，增益放大区中设有增益结构，增益结构包括增益波导，增益波导上设有P面电极，非增益放大区中设有微环阵列波长调谐结构，微环阵列波长调谐结构包括平行排列的输入耦合波导和输出耦合波导，输入耦合波导和输出耦合波导之间设有沿波导方向平行排列的N个微环波导，N为≥2的整数。本发明具有结构简单可靠，集成度高、制备成本低等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 谐振腔 同质 集成 波长 调谐 半导体激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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