[发明专利]提高不锈钢基体耐腐蚀性能的碳基复合薄膜的制备方法在审
申请号: | 202310776201.X | 申请日: | 2023-06-28 |
公开(公告)号: | CN116770239A | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 吴艳霞;刘颖;江旭;于盛旺;王永胜;周兵;马永;郑可 | 申请(专利权)人: | 太原理工大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/06 |
代理公司: | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人: | 王飞 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种提高不锈钢基体耐腐蚀性能的碳基复合薄膜的制备方法,属于不锈钢基体表面处理应用技术领域。本发明方法首先在单面抛光的不锈钢基体表面沉积高密度金属骨架;然后通过加热和含碳等离子体刻蚀轰击,在金属骨架内植入碳原子;最后通过直流或者射频溅射在基体表面沉积内部为金属掺杂碳基薄膜过渡到表层为纯非晶碳薄膜的碳基复合薄膜。本发明所制备的碳基复合薄膜具有膜层与基体结合强度高、膜层应力低、硬度高、耐腐蚀性能好等优点,扩大了不锈钢在燃料电池双极板、有机污水处理和重金属粒子检测薄膜电极等领域的应用。 | ||
搜索关键词: | 提高 不锈钢 基体 腐蚀 性能 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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