[实用新型]载片装置以及等离子体设备有效
| 申请号： | 202320270495.4 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN219526775U | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 张晓军;冯琳;夏慧;杨登亮;朱文献 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林明校 |
| 地址： | 518131 广东省深圳市龙华区民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了载片装置以及等离子体设备。该载片装置，用于载置片材，包括：基台，在载置面上载置所述片材；多个定位件，分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述片材进行定位；压边件，与所述载置面相对，与所述基台之间可靠近或者远离，在靠近所述基台时，压住所述片材的四周边缘，并且压住多个所述定位件以使所述定位件缩回。本实用新型的载片装置，能够用在等离子体设备中载置片材，并能够减少鞘层区域、提高对片材进行工艺的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
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