[实用新型]一种便于维护的电浆反应腔装配结构有效
| 申请号： | 202320803594.4 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN219701872U | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 梁献伟;吴宇翔;彭孟龙 | 申请（专利权）人： | 嘉芯迦能半导体设备科技（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01J19/24 |
| 代理公司： | 嘉兴尚正专利代理事务所(普通合伙) 33467 | 代理人： | 王寒阳 |
| 地址： | 314102 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种便于维护的电浆反应腔装配结构，涉及电浆反应设备技术领域，旨在解决便于维护的技术问题。其技术方案要点是：包括反应腔本体与机架本体，所述反应腔本体的侧壁固定连接有第一固定板，所述机架本体上安装有第二固定板，所述第一固定板与第二固定板之间设置有连接板，所述连接板的两端分别铰连接于第一固定板与第二固定板。本实用新型的目的在于提供一种便于维护的电浆反应腔装配结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 维护 反应 装配 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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