[实用新型]一种碳化硅晶片掺杂浓度电子探针分析仪有效
| 申请号： | 202321025448.X | 申请日： | 2023-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN219777539U | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡长祐;蔡清富;陈威佑;胡智威 | 申请（专利权）人： | 南京百识电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411 | 代理人： | 柳强 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及分析仪技术领域，且公开了一种碳化硅晶片掺杂浓度电子探针分析仪，包括台面、升降座和分析探头，所述升降座设置于台面的顶部，所述分析探头固定安装于升降座上；所述升降座的底部固定设有安装杆，所述分析探头固定安装于安装杆的下端，所述安装杆的杆壁弹性滑动设有防护罩；所述台面的顶部转动设有转轴，所述转轴的上端固定设有旋转盘，所述旋转盘的上表面边缘处固定设有多个均匀分布的晶片放置盘，所述台面的顶部且与转轴之间设有限位机构。本实用新型不仅能够将碳化硅晶片的掺杂浓度隔离检测，而且便于对多个碳化硅晶片的掺杂浓度进行检测分析对比，提高了检测分析的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶片 掺杂 浓度 电子探针 分析 | ||
【主权项】：
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