[发明专利]大致平的片状衬底的镀膜装置

摘要

借助阴极溅射工艺给片状衬底镀膜的装置带有一个大约成圆柱形的运送腔(7),并带有一个接在运送腔上的真空泵(8),由一块板(16)关闭用于衬底(3,3’)引入和导出的开口(9),含有阴极(10)的镀膜腔(11),一个置于运送腔(7)内可旋转的衬底托盘(12),在此装置中,衬底托盘(12)与电机减速机单元的驱动轴相联并且一方面在运送空间(19)内,自一个中间位置A以垂直升降运动方式推到一个上部的镀膜位置和一个下部的初始位置(C),另一方面在运送空间(19)内可由驱动轴(13)旋转,同时运送空间(19)的底板(4)上真空泵(8)的进气口(15)由在初始位置(C)的衬底托盘(12)关闭。

主权项

1．借助阴极溅射工艺给大致平的片状衬底(3,3’...)镀膜的装置，该装置带有一个圆柱形运送腔(7)，运送腔由一个圆板形的盖(4)，一个在相对于盖平行的平面内延伸的底板(5)和一个将此两部分耐压并在彼此间保持距离的，环形的，构成运送腔(7)侧壁的壳体部分(6)组成，该装置带有一个联接在运送腔(7)上的真空泵(8)，带有一个位于运送腔(7)的盖(4)上，可由板(16)关闭的用于衬底(3,3’)的引入和导出的开口(9)，带有一个与盖(4)联接，含有阴极(10)，借助盖(4)上的开口(23)与运送空间(19)相联的镀膜腔(11)和一个位于运送空间(19)内可回转的衬底托盘(12)，其特征在于，衬底托盘(12)和电机减速机单元(14)的驱动轴(13)相联，一方面托盘在运送空间(19)内，由一个中间的工作位置(A)能够以垂直的升降运动方式移到一个上部的镀膜位置(B)并回落到一个下部的初始位置(C)，另一方面驱动轴(13)可在运送空间(19)内回转，同时真空泵(8)的进气管(15)位于运送空间(19)的底部(5)，并且衬底托盘(12)在初始位置(C)时可将进气管关闭。