基板支撑组件

专利号：CN201710946426.X

公布日：2021-10-12

申请人：应用材料公司

基板支撑组件

专利号：CN201820739096.7

公布日：2019-08-27

申请人：应用材料公司

基板支撑组件

专利号：CN200790000078.7

公布日：2010-04-07

申请人：应用材料股份有限公司

基板支撑组件及基板处理装置

专利号：CN202111312361.6

公布日：2022-05-27

申请人：圆益IPS股份有限公司

用于处理基板的基板支撑组件

专利号：CN201720958948.7

公布日：2018-09-28

申请人：应用材料公司

极端均匀加热基板支撑组件

专利号：CN201980030055.8

公布日：2020-12-15

申请人：应用材料公司

温度受控的基板支撑组件

专利号：CN202110815314.7

公布日：2021-10-22

申请人：应用材料公司

温度受控的基板支撑组件

专利号：CN202110820802.7

公布日：2021-10-22

申请人：应用材料公司

基板支撑组件及导热基底

专利号：CN201710741989.5

公布日：2020-11-27

申请人：应用材料公司

基板支撑组件以及用于处理基板的设备

专利号：CN201911120497.X

公布日：2020-01-14

申请人：应用材料公司

基板支撑组件及包括其的基板处理装置

专利号：CN202010516745.9

公布日：2021-01-12

申请人：ASMIP私人控股有限公司

带有加热器的基板支撑组件

专利号：CN201420117178.X

公布日：2014-12-03

申请人：应用材料公司

用于高温工艺的基板支撑组件

专利号：CN202310767012.6

公布日：2023-09-12

申请人：应用材料公司

用于高温工艺的基板支撑组件

专利号：CN201780014952.0

公布日：2023-07-14

申请人：应用材料公司

基板支撑组件和处理腔室

专利号：CN201921006040.1

公布日：2020-03-03

申请人：应用材料公司