掩模装置及其制造方法、蒸镀方法

专利号：CN201810284668.1

公布日：2021-10-12

申请人：京东方科技集团股份有限公司

自动仓库以及物品搬出方法

专利号：CN201180042795.7

公布日：2013-05-22

申请人：村田机械株式会社

一种掩模装置、曝光设备及曝光方法

专利号：CN201810785237.3

公布日：2021-04-06

申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

OLED像素形成用掩模、掩模支撑模板及框架一体型掩模

专利号：CN202110500020.5

公布日：2021-11-30

申请人：悟勞茂材料公司

电子束曝光掩模、曝光方法和设备及半导体器件制造方法

专利号：CN00123809.4

公布日：2004-08-04

申请人：恩益禧电子股份有限公司

一种拼接式掩模版、曝光装置及曝光方法

专利号：CN201810813185.6

公布日：2021-10-29

申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

一种掩模参数优化方法及装置

专利号：CN202111274722.2

公布日：2022-03-04

申请人：中国科学院微电子研究所

半导体结构形成的方法

专利号：CN200710002191.5

公布日：2008-07-16

申请人：南亚科技股份有限公司

掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架

专利号：CN201810068510.0

公布日：2020-06-05

申请人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司

掩模片、掩模板及其组装方法

专利号：CN201710289649.3

公布日：2018-11-13

申请人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

掩模组件、包括掩模组件的沉积装置及掩模组件制造方法

专利号：CN201710857615.X

公布日：2018-04-03

申请人：三星显示有限公司

一种掩模制作装置及制作方法

专利号：CN201911008393.X

公布日：2022-03-15

申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

遮蔽掩模的附着方法

专利号：CN200510092340.2

公布日：2006-07-12

申请人：三星SDI株式会社

形成半导体器件的图案的方法

专利号：CN200910001020.X

公布日：2009-09-30

申请人：海力士半导体有限公司

掩模网及掩模组件

专利号：CN201820709638.6

公布日：2019-03-15

申请人：昆山国显光电有限公司