[发明专利]一种三相驱动结构CCD的水平区结构及其驱动电路在审

专利信息
申请号: 201811632039.X 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109728020A 公开(公告)日: 2019-05-07
发明(设计)人: 王廷栋 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
主分类号: H01L27/148 分类号: H01L27/148;H04N5/357;H04N5/372
代理公司: 重庆辉腾律师事务所 50215 代理人: 卢胜斌
地址: 400060 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 水平区 三相电极 三相驱动 栅介质层 第二相 复位栅 浮置扩散区 驱动电路 第三相 外延层 图像传感器器件 外延层表面 常规噪声 器件结构 驱动方式 输出信号 耦合噪声 低噪声 上升沿 势垒区 应用
【权利要求书】:

1.一种三相驱动结构CCD的水平区结构,包括外延层(5)、水平区三相电极(1)、栅介质层(3)、浮置扩散区(4)及复位栅(2),所述水平区三相电极(1)包括第一相栅(H1)、第二相栅(H2)和第三相栅(H3),其特征在于,栅介质层(3)设置在外延层(5)表面,水平区三相电极(1)及复位栅(2)均设置在栅介质层(3)表面,在复位栅(2)与水平区三相电极(1)之间的位置,设置有浮置扩散区(4),其特征在于,每个第一相栅(H1)、第二相栅(H2)和第三相栅(H3)下方的外延层(5)中,设置有势垒区(10)。

2.根据权利要求1所述的一种三相驱动结构CCD的水平区结构,其特征在于,所述势垒区(10)通过注入离子形成局部势垒,且当势垒区(10)形成后,当在栅上加偏置电压时,栅下的信号电子将由低电势区域向高电势区域移动,阻止信号电子反方向移动。

3.一种三相驱动结构CCD的水平区结构的电路驱动,其特征在于,包括当第一相栅(H1)由高电平转换成低电平时,同时第二相栅(H2)由低电平转换成高电平,而此时依然保持第三相栅(H3)为低电平;由于第一相栅(H1)下面栅下结构的存在,电荷包不会研制反向移动,电荷包会顺畅地转移到第二相栅(H2)栅下;第二相栅(H2)由高电平转换成低电平时,同时第三相栅(H3)由低电平转换成高电平,而此时依然保持第一相栅(H1)为低电平;由于第二相栅(H2)面栅下结构的存在,电荷包会顺畅地转移到第三相栅(H3)下。

4.根据权利要求1所述的一种三相驱动结构CCD的水平区结构的电路驱动,其特征在于,复位栅(2)时序的高电平时间比地水平区第二相(H2)高电平时间长,以确保在复位参考电平时间内无水平区时钟上升沿;同时确保在水平区第三相(H3)由高电平到低电平后,在信号电平时间内无水平时钟上升沿。

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